000 01070 a2200133 4500
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_b20100819
_zjanium
008 100819e1992 mx |||p r 0 b|spaod
100 1 _aFuentes G., Sotero I. ;
_b[et. al]
245 1 0 _aFabricación de circuitos integrados en México
520 _aCon este trabajo se da a conocer el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS (ECMOS 1) desarrollado en el Laboratorio de Microelectrónica del Instituto Nacional de Astrofísica, óptica y Electrónica. También se dan detalles de los subprocesos más importantes que se desarrollaron en esta investigación. Junto con el proceso de fabricación se desarrolló la técnica de diseño de celdas básicas; en este artículo se detallan la técnica y las celdas básicas. Por último, se muestra cómo se modelan los dispositivos para simulación en computadora, cerrando así el ciclo de diseño y fabricación.
773 0 _tCiencia. Revista de la Academia de la Investigación Científica
_g43, 2 (jun. 1992), 127-156
999 _c227553
_d227553