000 | 01070 a2200133 4500 | ||
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035 | _a(janium)236605 | ||
005 | 20221115230832.0 | ||
998 |
_aHEM3 _b20100819 _zjanium |
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008 | 100819e1992 mx |||p r 0 b|spaod | ||
100 | 1 |
_aFuentes G., Sotero I. ; _b[et. al] |
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245 | 1 | 0 | _aFabricación de circuitos integrados en México |
520 | _aCon este trabajo se da a conocer el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS (ECMOS 1) desarrollado en el Laboratorio de Microelectrónica del Instituto Nacional de Astrofísica, óptica y Electrónica. También se dan detalles de los subprocesos más importantes que se desarrollaron en esta investigación. Junto con el proceso de fabricación se desarrolló la técnica de diseño de celdas básicas; en este artículo se detallan la técnica y las celdas básicas. Por último, se muestra cómo se modelan los dispositivos para simulación en computadora, cerrando así el ciclo de diseño y fabricación. | ||
773 | 0 |
_tCiencia. Revista de la Academia de la Investigación Científica _g43, 2 (jun. 1992), 127-156 |
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999 |
_c227553 _d227553 |