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Fabricación de circuitos integrados en México

By: In: Ciencia. Revista de la Academia de la Investigación Científica 43, 2 (jun. 1992), 127-156Summary: Con este trabajo se da a conocer el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS (ECMOS 1) desarrollado en el Laboratorio de Microelectrónica del Instituto Nacional de Astrofísica, óptica y Electrónica. También se dan detalles de los subprocesos más importantes que se desarrollaron en esta investigación. Junto con el proceso de fabricación se desarrolló la técnica de diseño de celdas básicas; en este artículo se detallan la técnica y las celdas básicas. Por último, se muestra cómo se modelan los dispositivos para simulación en computadora, cerrando así el ciclo de diseño y fabricación.
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Con este trabajo se da a conocer el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS (ECMOS 1) desarrollado en el Laboratorio de Microelectrónica del Instituto Nacional de Astrofísica, óptica y Electrónica. También se dan detalles de los subprocesos más importantes que se desarrollaron en esta investigación. Junto con el proceso de fabricación se desarrolló la técnica de diseño de celdas básicas; en este artículo se detallan la técnica y las celdas básicas. Por último, se muestra cómo se modelan los dispositivos para simulación en computadora, cerrando así el ciclo de diseño y fabricación.

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