Fuentes G., Sotero I. ;  [et. al] <br/><br/>
Fabricación de circuitos integrados en México 

<br/><br/> Con este trabajo se da a conocer el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS (ECMOS 1) desarrollado en el Laboratorio de Microelectrónica del Instituto Nacional de Astrofísica, óptica y Electrónica. También se dan detalles de los subprocesos más importantes que se desarrollaron en esta investigación. Junto con el proceso de fabricación se desarrolló la técnica de diseño de celdas básicas; en este artículo se detallan la técnica y las celdas básicas. Por último, se muestra cómo se modelan los dispositivos para simulación en computadora, cerrando así el ciclo de diseño y fabricación.